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真空科技与应用展览分类


展览范围
一、真空装备制造设备种类
二、PVD 物理气相沉积设备类
三、CVD 化学气相沉积设备类
四、真空系统
五、镀膜系统
六、电控系统
七、气体系统
八、冷气系统
九、防护系统
十、辅助系统
十一、加载/卸载系统
十二、工装治具
十三、真空镀膜关联材料
十四、镀膜加工
十五、检测分析
十六、检测服务
十七、应用行业及领域
二、PVD 物理气相沉积设备类


真空蒸发镀膜

Vacuum Evaporation Deposition

电阻加热蒸发

Resistive Heating Evaporation

电子束蒸发 

Electron Beam Evaporation 

(e-Beam Evaporation)

感应加热蒸发

Induction Heating Evaporation

电弧蒸发 

Arc Evaporation

激光脉冲沉积(PLD）

Pulsed Laser Deposition (PLD)


溅射镀膜

Sputtering Deposition

直流溅射

Direct Current Sputtering

(DC Sputtering)

射频溅射

Radio Frequency Sputtering

 (RF Sputtering)

磁控溅射（直流 / 射频 / 中频）

Magnetron Sputtering (DC / RF / 

MF Magnetron Sputtering)

反应溅射

Reactive Sputtering

高靶材利用溅射（HiTUS） 

High Target Utilization Sputtering

(HiTUS)

高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS）

High-Power Impulse Magnetron 

Sputtering (HiPIMS)




离子镀

Ion Plating

阴极电弧离子镀（含 FCA）

Cathodic Arc Ion Plating (including 

Filtered Cathodic Arc, FCA)

热阴极离子镀 

Hot Cathode Ion Plating

空心阴极放电离子镀(HCD） 

Hollow Cathode Discharge Ion 

Plating (HCD)

磁控溅射离子镀

Magnetron Sputtering Ion Plating

分子束外延 (MBE）

Molecular Beam Epitaxy 

(MBE)

 

中国深圳宝安区沙井街道办沙井路118号维纳斯皇家酒店(国际会展中心店)

Venus Royal Hotel (International Convention and Exhibition Center Branch)No. 118 Shajing Road, Shajing Street, Bao'an District Shenzhen, China


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