1. 金属靶材(部分)Metal Target Materials (Partial)
纯金属靶pure metal target:
| 铝靶(Al)、铜靶(Cu)、钛靶(Ti)、镍靶(Ni)、铬靶(Cr)、钨(W)、锆(Zr)、铌(Nb)、钼(Mo)、钒(V)、钪(Sc)、镧(La)、铟(In)、锡(Sn)、铅(Pb)、锌(Zn)、镁(Mg)、铁(Fe)、钴(Co) |
合金靶材alloy target:
| 钛铝靶(TiAl)、镍铬靶(NiCr)、钴铬铂靶(CoCrPt)、铝硅靶(Al-Si)、铝铜靶(Al-Cu)、铜铟靶(Cu-In)、铜锌靶(Cu-Zn)、钛锆靶(Ti-Zr)、镍铬靶(Ni-Cr)、镍铁靶(Ni-Fe)、铜铟镓靶(Cu-In-Ga)、铝钕硅靶(Al-Nd-Si)、镍铬铁靶(Ni-Cr-Fe)、钛铝钒靶(Ti-Al-V)、锌铝镁靶(Zn-Al-Mg)、高温合金靶(如Ni-Cr-Co-Mo)、形状记忆合金靶(如Ni-Ti)、储氢合金靶(如La-Ni-Al)、抗菌合金靶(Cu-Ag-Zn)、抗磨损合金靶(如Cr-Mo-V)、热电合金靶(如Bi-Te-Sb)、锡铟银靶(Sn-In-Ag)、镍钼铬靶(Ni-Mo-Cr)、铝铜镁靶(Al-Cu-Mg)、铁镍钴靶(Fe-Ni-Co)、钴铁靶(Co-Fe)、钴铬靶(Co-Cr)、锌锡靶(Zn-Sn)、锌镍靶(Zn-Ni)、镁锌靶(Mg-Zn)、镁铝靶(Mg-Al) |
贵金属靶precious metal target:
| 金靶(Au)、银靶(Ag)、锇靶(Os)、钌靶(Ru)、铱靶(Ir)、铑靶(Rh)、铂靶(Pt) |
贵金属合金靶precious metal alloy target:
| Au-Pd(金钯)、Pt-Rh(铂铑)、Ag-Pd(银钯) |
2. 陶瓷靶材(部分)Ceramic Target Materials (Partial)
氧化物靶oxide target:
| 二氧化硅靶(SiO₂)、二氧化钛靶(TiO₂)、氧化锌靶(ZnO)、氧化铟锡靶(ITO)、氧化铝靶(Al₂O₃)、氧化锆靶(ZrO₂)、氧化铪靶(HfO₂)、氧化铁靶(Fe₂O₃、Fe₃O₄)、氧化镍靶(NiO)、氧化钽靶(Ta₂O₅)、氧化钼靶(MoO₃)、氧化锡靶(SnO₂)、氧化铋靶(Bi₂O₃)、氧化镓靶(Ga₂O₃)、氧化镍钴靶(NiCo₂O₄)、氧化钒靶(V₂O₅、VO₂)、氧化钨靶(WO₃)、氧化铜靶(CuO、Cu₂O)、氧化钴靶(Co₃O₄)、氧化钆靶(Gd₂O₃)、氧化铒靶(Er₂O₃)、氧化镧靶(La₂O₃)、氧化铈靶(CeO₂) |
氮化物靶nitride target:
| 氮化钛靶(TiN)、氮化铝靶(AlN)、氮化硅靶(Si₃N₄)、氮化铬靶(CrN)、氮化钒靶(VN)、氮化钽靶(TaN)、氮化钼靶(MoN)、氮化镓靶(GaN)、氮化硼靶(BN)、复合氮化物靶、氮化铟靶(InN)、氮化铜靶(Cu₃N)、氮化铁靶(Fe₄N)、氮化钨靶(WN)、氮化铪靶(HfN)、氮化钕靶(NdN)、氮化镨靶(PrN)、氮化钇靶(YN) |
碳化物靶carbide target:
| 碳化硅靶(SiC)、碳化钨靶(WC)、碳化硼靶(B₄C)、碳化钛靶(TiC)、碳化钨靶(WC)、碳化钽靶(TaC)、碳化铪靶(HfC)、碳化钼靶(Mo₂C)、碳化铌靶(NbC)、碳化铬靶(Cr₃C₂)、碳化锆靶(ZrC)、碳化铁靶(Fe₃C)、碳化镍靶(Ni₃C)、碳化镧靶(LaC₂)、碳化金靶(AuC)、碳化铂靶(PtC)、碳化铱靶(IrC)、碳化锇靶(OsC)、碳化钯靶(PdC)、碳化铑靶(RhC)、碳化钌靶(RuC)、碳化钕靶(NdC₂)、碳化钇靶(Y₂C₃)、碳化钒靶(VC) |
硫化物靶sulfide target:
| 硫化锌靶(ZnS)、硫化镉靶(CdS)、二硫化钼靶(MoS₂)、硫化铅靶(PbS)、硫化铋靶(Bi₂S₃)、三硫化二铟靶(In₂S₃)、硫化银靶(Ag₂S)、硫化钴锡靶(CoSnS)、硫化铬靶(Cr₂S₃)、硫化铜铝靶(CuAlS₂)、硫化铜镓靶(CuGaS₂)、硫化铜靶(CuS)与硫化亚铜靶(Cu₂S)、硫化铜锡靶(CuSnS)、硫化铁靶(FeS₂)、硫化镓靶(GaS)与三硫化二镓靶(Ga₂S₃)、硫化锗靶(GeS)、二硫化锗靶(GeS₂)、硫化锑靶(Sb₂S₃)、硫化锡靶(SnS、SnS₂)、硫化钛靶(TiS₂)、硫化钽靶(TaS₂)、硫化钨靶(WS₂)、硫化锌镉靶(ZnCdS) |
硼化物靶boride target:
| 钛硼化物靶(TiB₂)、硼化铬靶(CrB₂)、硼化钼靶(MoB、MoB₂)、铪硼化物靶(HfB₂)、硼化钽靶(TaB、TaB₂)、复合硼化物靶、硼化锆靶材(ZrB₂)、碳化硼靶材(B₄C)、硼化铝靶材(AlB₂)、硼化铬靶材(CrB₂)、硼化钴靶材(Co₃B)、硼化铁靶材(FeB、Fe₂B)、硼化铪靶材(HfB₂)、硼化钨靶材(WB、WB₂)、硼化钼靶材(MoB、Mo₂B、Mo₂B₅)、硼化钽靶材(TaB、TaB₂)、硼化铌靶材(NbB、NbB₂)、硼化钒靶材(VB、VB₂)、硼化镧靶材(LaB₆)、硼化钐靶材(SmB₆)、硼化铈靶材(CeB₆) |
3. 复合靶材(部分)Compound Target Materials (Partial)
| 金属陶瓷靶(WC-Co)、铝-氧化铝梯度靶(Al-Al₂O₃)、梯度结构钛-氮化钛-碳化钛靶(Ti-TiN-TiC)、氧化铟-银靶(In₂O₃-Ag)、氧化锡-金靶(SnO₂-Au)、铜-铟-镓靶(Cu-In-Ga)、镍-铁-钴靶(Ni-Fe-Co)、碳化硅-硼化锆靶(SiC-ZrB₂)、碳化钛-硼化钛靶(TiC-TiB₂) |
| 多层复合靶(Mo/Cu/Mo)、硼化钛-碳化铬靶(TiB₂-Cr₃C₂)、硼化锆-碳化硅靶(ZrB₂-SiC)、钇-铝合金靶(Y-Al)、铈-铜复合靶(Ce-Cu)、氮化铬-碳化钨靶(CrN-WC)、氮化铝-碳化钛靶(AlN-TiC)、硫化镉-氧化锡靶(CdS-SnO₂)、硫化锌-氧化锌靶(ZnS-ZnO)、硫化镉-氧化锡靶(CdS-SnO₂) |
4. 蒸发加热材料(部分)Evaporative Heating Material (Partial)
| 钨(W)、钼(Mo)、钽(Ta)、镍铬合金(Ni-Cr)、石墨(C)、氮化硼(BN)、二氧化锆(ZrO₂)、钨-铼合金(W-Re) |
5. 蒸发舟种类Types of Evaporation Boats
| 钨舟(W舟)、钼舟(Mo舟)、钽舟(Ta舟)、镍铬合金舟(Ni-Cr舟)、石墨舟(C舟)、氮化硼舟(BN舟)、二氧化锆舟(ZrO₂舟) |
复合材质蒸发舟类Composite Material Evaporation Boats:
6. 光学蒸发镀膜蒸发材料(部分)Optical Evaporation Coating Materials (Partial)
纯金属材料pure metallic materials:
合金材料alloy material:
| 镍铬合金(Ni-Cr)、铝铜合金(Al-Cu)、铜铟镓硒合金(CuInGaSe) |
贵金属材料precious metal materials:
贵金属合金材料precious metal alloy materials:
氧化物材料oxide materials:
| 二氧化硅(SiO₂)、二氧化钛(TiO₂)、五氧化二钽(Ta₂O₅) |
氮化物材料nitride materials:
碳化物材料carbide materials:
硫化物材料sulfide materials:
| 硫化镉(CdS)、硫化锌(ZnS)、硫化镉(CdS) |
硼化物材料boride materials:
金属陶瓷类材料cermet materials:
7. 真空镀膜专用底漆与面漆/清晰/退镀材料(部分)Specialized Primers, Topcoats/Clear Coats/Stripping Materials for Vacuum Coating (Partial)
光固化底漆 UV-curable primer | 光固化中途漆 UV-curable surfacer | 光固化面漆 UV-curable topcoat |
热固化底漆 Thermosetting Primer | 热固化中途漆 Thermosetting Surfacer | 热固化面积 Thermosetting Area |
| 镀膜专用色浆 Special Color Paste/色精Dye for Coating |
| 亲水材料hydrophilic material、疏水材料hydrophobic material |
| 防指纹材料anti-fingerprint material |
| 表面清洗液Surface Cleaning Fluid |
| 涂层与薄膜层退镀液Stripping Solution for Coatings and Thin Films |
8. PVD、CVD、ALD、刻蚀专用气体(部分)PVD, CVD, ALD, and Etching Specialty Gases (Partial)
PVD专用气体Specialty Gases for PVD:
| 氩气(Ar)、氧气(O₂)、氮气(N₂)、甲烷(CH₄) |
CVD专用气体Specialty Gases for CVD:
| 硅烷(SiH₄)、氨气(NH₃)、三甲基铝(TMA,Al(CH₃)₃)、氢气(H₂)、四氯化硅(SiCl₄) |
ALD专用气体ALD-Specific Gases:
刻蚀专用气体Etching-Specific Gases :
| 氯气(Cl₂)、三氟化氮(NF₃)、六氟化硫(SF₆)、氢溴酸(HBr) |