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膜层性能检测设备 | Film Performance Testing Equipment


1. 在线监测系统 | Online Monitoring System


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光学发射光谱监测系统

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膜厚测量仪（光学/石英晶体）

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2. 实验室分析仪器 | Laboratory Analytical Instruments


微观分析设备

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场发射扫描电镜

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材料分析仪器 | Material Analysis Instruments


扫描电镜（SEM）

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